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干式真空泵的应用

点击次数:   更新时间:20/04/16 17:30:04     来源:www.zbxiangtelai.cn关闭分    享:

  干式真空泵又被称为干式机械泵,指的是泵能从大气的压力下抽气,又能够将被抽的气体直接的排到大气中去,泵腔内无油或者其他的工作介质。干式机械真空泵的应用比较的广泛。主要有以下的几个方面:

干式真空泵

  1、干式真空泵可以应用在低压化学气相沉积中的多晶硅制备的工艺之中;
  2、该设备可以应用在半导体刻蚀的工艺上。在这些生产工艺之中往往可能会用到或者生成腐蚀性的气体以及研磨微粒;
  3、该设备可以用在除半导体工艺之外的某些产生微粒的工艺上,如果不希望微粒混入泵油之中,能将微粒排出泵之外,那么使用一定型式的干式机械真空泵就可以满足该要求;
  4、干式真空泵还可以用在化学工业、医药工业以及食品工业中的蒸馏、干燥和脱泡以及包装等方面,如果想要防止有机溶剂造成的污染,那么比较适合使用干式真空泵;
  5、该设备还能够用做一般无油清洁的真空系统其前级泵,以防止油的污染。
  以上为干式真空泵的应用范围,该设备因其良好的工作性质被广泛的应用在了各个领域。
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