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  • 结构简单
  • 适用范围广
  • 使用寿命长

干式真空泵应用范围的介绍

点击次数:   更新时间:20/05/14 17:04:05     来源:www.zbxiangtelai.cn关闭分    享:
  原有的机械真空泵普遍存在着工作介质返流的现象,这一现象会影响到产品的品质,让设备的维护变的艰难,但如果使用的是干式真空泵就不会出现这一现象,因此它在多个行业中推广开来。那么它具体都能够应用在哪些领域呢?小编通过下面的文章为大家介绍一下:

  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

无油干式真空泵

  2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,都不太希望微粒混入泵油之中,而微粒排出泵外,选用一定型式的干式真空泵可以满足其要求;
  3、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等;
  4、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺之中往往会使用到或者生成具有腐蚀性的气体以及研磨微粒;
  5、将干式真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油的污染。
  干式真空泵的应用是非常广泛的,但主要还是应于以上几个方面,并且都可以达到理想的使用效果。它的出现无疑为真空行业增添了一抹新的“靓丽风景”,相信凭借其良好的性能,在日后能够为更多的行业所采用。
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