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在半导体行业中干式真空泵的应用介绍

点击次数:   更新时间:20/06/23 15:56:06     来源:www.zbxiangtelai.cn关闭分    享:
  干式真空泵现在的应用较更加的广泛,其中在半导体与石油化工等行业中的使用也更多,在这些半导体的生产工艺之中往往会需要使用到或者生成腐蚀性的气体以及研磨微粒。今天小编主要讲的是此种真空泵在半导体行业中的具体应用要求:
  以半导体行业为代表要求干式真空泵向被抽空间内的返流需要为零,以此来避免工件受到污染。对于在半导体行业中的真空系统的应用要求大体分为以下的三个等级。
  1、在清洁的条件下进行抽气的话,只能抽取干空气或者含少量水蒸汽的空气。
  2、干式真空泵在中等条件下的抽气,其抽除的是工艺过程的反应气体、但是无固体的颗粒物。
  3、恶劣条件下的抽气,除了抽除化学反应物(有毒甚至致癌)之后还会抽除固体颗粒物。
  以上就是干式真空泵在半导体行业不同环境条件下中应具备的要求,凭借其真空度高、稳定性好等特点有着比较理想的使用效果,得到了业内的普遍认可。
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