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  • 适用范围广
  • 使用寿命长

干式真空泵类型选择

点击次数:   更新时间:20/08/06 13:36:08     来源:www.zbxiangtelai.cn关闭分    享:

  随着干式真空泵的应用越来越多,不合理的操作会影响产品的质量、数量和维护成本,某些工艺过程中的反应物质会严重恶化真空泵中的介质,使泵无法正常工作。因此,选择合适的设备非常重要。

干式真空泵

  1.双叶型。它的设计非常类似于流行和广泛使用的罗茨泵。事实上,一些干式泵的早期设计理念是堆叠罗茨泵。这种多级设计使得气体通道非常复杂,每个通道都需要大量氮气来稀释和隔离作用。同时,为了达到良好的真空度,对各级间隙有非常严格的要求。
  2.内部压缩螺钉类型。除了使用一对非等距螺钉之外,内压缩螺钉设计和外压缩螺钉设计的基本原理非常相似。螺钉之间的体积减小导致螺钉内部压缩。由于内部压缩,这种设计将其功耗降低到与多级泵相同的水平
  3.组合设计采用罗茨泵在较低压力下提高泵送效率,采用爪式泵在较高压力下提高泵送效率。它的基本原理和气体通道与上述圆形凸角设计完全相同。在许多过程中,组合设计的每一层都需要大量的氮气来稀释和隔离作用。
  4.外部压缩螺钉类型。使用一对等距螺钉。这使得内部压缩更小,并且使得气体通道更短和更简单。这样,气体在干式真空泵中停留很短时间。尽管由于内部压缩比的降低,这种设计的功耗相对较高,但它在许多复杂的半导体工艺中显示出高稳定性。这种单级设计使得氮气消耗的要求非常小和简单,这使得它在不同的工艺中具有良好的互换性。在许多清洁过程中,甚至可能不使用氮气。
  通过以上对这些设备的详细介绍,要先确定所购设备的类型和型号,并选择合适的设备。具体内容可以咨询我们的厂家。
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