随着干式真空泵的应用越来越多，不合理的操作会影响产品的质量、数量和维护成本，某些工艺过程中的反应物质会严重恶化真空泵中的介质，使泵无法正常工作。因此，选择合适的设备非常重要。
1.双叶型。它的设计非常类似于流行和广泛使用的罗茨泵。事实上，一些干式泵的早期设计理念是堆叠罗茨泵。这种多级设计使得气体通道非常复杂，每个通道都需要大量氮气来稀释和隔离作用。同时，为了达到良好的真空度，对各级间隙有非常严格的要求。
2.内部压缩螺钉类型。除了使用一对非等距螺钉之外，内压缩螺钉设计和外压缩螺钉设计的基本原理非常相似。螺钉之间的体积减小导致螺钉内部压缩。由于内部压缩，这种设计将其功耗降低到与多级泵相同的水平
3.组合设计采用罗茨泵在较低压力下提高泵送效率，采用爪式泵在较高压力下提高泵送效率。它的基本原理和气体通道与上述圆形凸角设计完全相同。在许多过程中，组合设计的每一层都需要大量的氮气来稀释和隔离作用。
4.外部压缩螺钉类型。使用一对等距螺钉。这使得内部压缩更小，并且使得气体通道更短和更简单。这样，气体在干式真空泵中停留很短时间。尽管由于内部压缩比的降低，这种设计的功耗相对较高，但它在许多复杂的半导体工艺中显示出高稳定性。这种单级设计使得氮气消耗的要求非常小和简单，这使得它在不同的工艺中具有良好的互换性。在许多清洁过程中，甚至可能不使用氮气。
通过以上对这些设备的详细介绍，要先确定所购设备的类型和型号，并选择合适的设备。具体内容可以咨询我们的厂家。
